早期对水质要求较高（去除水体中的杂质及离子）的用水场合，基本采用电渗析及离子交换或蒸馏等工艺制取，因高耗能、环境污染、性能不稳定等因素致使产水水质低且不稳定，后因国外RO反渗透工艺的引入，纯水制取得到很大的改进及发展，其稳定的性能，高自动化运行得到大力的推广与运用。
RO反渗透纯水设备规工艺流程
市政自来水-原水水箱-提升泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-高压泵-RO反渗透(或二级反渗透主机）-纯水箱-供水系统
反渗透纯水设备特点：
1、无相变下对液体的分离、浓缩，能耗较低；
2、反渗透膜分离技术运用广泛；
3、较高的脱盐率和水回用率，性能稳定；
4、设备智能自动化程度高，维护运行方便。
反渗透纯水设备应用领域：
（ 1 ）电力工业：锅炉补给水、冷却水；
（ 2 ）电子工业：半导体工业超纯水前处理、集成电路清洗用水、配方用水；
（ 3 ）食品工业：配方用水、生产用水；
（ 4 ）制药行业：工艺用水、制剂用水、洗涤用水、注射用水、无菌水制备；
（ 5 ）饮料工业：配方用水、生产用水、洗涤用水；
（ 6 ）化学工业：生产用水、废水处理；
（ 7 ）饮水工程：超纯水制备、饮用水净化；
（ 8 ）石油化工：油田注入水、石化废水深度处理；
（ 9 ）海水淡化：海岛地区、沿海缺水地区、船舶、海水油田等生产生活用水；
（ 10 ）环保领域：电镀漂洗水中贵重金属、水的回收，实现零排放或微排放。