以氯硅烷副产物生产气相二氧化硅成套工艺通过鉴定

 
　　新工艺以有机硅单体和多晶硅生产过程中的氯硅烷副产物为原料生产气相二氧化硅产品，同时将气相二氧化硅生产过程中的副产物氯化氢回收后进行再利用。该工艺已在乐山吉必盛硅材料有限公司等单位得到应用，建成了1250吨/年的气相二氧化硅生产线。