日本昭和电工公司开发出温室气体干式四氟化碳（PFC）分解装置

      HB-3000是一款无需水处理工序的干式装置，其特点在于综合了化学反应方式及催化剂方式的优点。化学反应方式具备无需进行污水处理、二氧化碳排放量也较少的优点。不过，由于需要使用高性能反应剂来分解四氟化碳并同时固定分解时产生的氟，因此运行成本较高，而且由于反应剂填充容器的容量限制，可处理的排气量仅为每分钟200升左右。

      催化剂方式是利用催化剂分解四氟化碳，用水吸收分解时产生的氟，其优点在于运行成本较低，通过大型化，可处理大量废气。但是需要对排出的污水等进行后处理。

      此次开发的新装置利用低价钙（Ca）类反应剂，成功使催化剂方式中的氟去除工序实现了干式化。由于这种钙类反应剂价格较低，因此与化学反应方式相比，反应剂所需成本降低，与催化剂方式相比，水处理所需成本也有所减少。

      并且，由于是自动将钙类反应剂直接送入装置并排出，因此不会受到填充容器容量的限制，可维持与原有大型催化剂方式同等的废气处理能力（每分钟3500升），同时缩小了机身尺寸，可收放在20英尺集装箱内。净化后产生的氟化钙（CaF2）还可作为合成萤石进行再利用。

      四氟化碳主要用于液晶面板及半导体的蚀刻工序等，其温室效应系数高，因此使用后在排放时需要进行分解处理。 昭和电工力争到2015年，废气处理装置业务整体年销售额实现30亿日元。此次的新产品预定在2012年内开始销售。