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三维表面测量仪 3D表面测量仪 三维表面轮廓仪 便携式3D表面测量仪
产地：法国
测量能力：
3D表面形貌 表面轮廓 粗糙度&波纹 台层高度
应用范围：
膜层 太阳能硅片 纸张 高分子材料 砂轮 橡胶 金属
探针划痕 焊点
基本指标：
Z轴范围最大至1mm
重复性 10nm
测量范围最大至 100×100mm
简介：
MicroPhase是与常规显微镜连接使用的便携式3D表面测量仪。即在原有显微镜的基础上直接增加3D表面的测量和分析功能，而无需其他光学或机电附件，是非常灵活和实惠的选择。连接的显微镜要求带有标准C-mount接口。
上图示例：7 X 7mm尺寸金属架表面测量及坡度分析
MicroPhase 指标参数表：
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物镜
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5X
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10X
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20X
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50X
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100X
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工作距离，mm
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23.5
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17.5
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4.5
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1
|
1
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数值孔径
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0.15
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0.3
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0.45
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0.8
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0.9
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测量范围(X,Y)，mm2
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1.3 x 1.0
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0.66 x 0.53
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0.33 x 0.27
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0.13 x 0.10
|
0.065 x 0.05
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水平分辨率(X,Y)，um
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2.8
|
1.4
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0.9
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0.5
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0.4
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GetPhase(GP)/
GetPhase Extended(GPE)
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GP
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GPE
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GP
|
GPE
|
GP
|
GPE
|
GP
|
GPE
|
GP
|
GPE
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最大角度，degrees
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8
|
89
|
16
|
89
|
24
|
88
|
38
|
84
|
42
|
78
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垂直范围(Z)，um
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35
|
1000
|
9
|
250
|
4
|
62.5
|
1.1
|
10
|
0.8
|
2.5
|
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垂直分辨率(Z)，um
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0.35
|
6.9
|
0.09
|
1.7
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0.04
|
0.7
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0.011
|
0.2
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0.008
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0.17
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测量采集点
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1.3M (1280 x 1024 pixels)
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测量时间，sec
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＜10
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粗糙度范围Ra，um
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＞0.01 to 3
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机械件接口
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标准C-mount视频接口
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L x W x H，mm
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120 x 74 x 173
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重量，kg
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2.5
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厂家保留未经预先通知即更改技术参数的权利，所有配置和技术条件以即时报价为准。
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