工艺卡点 销钉 石墨舟卡点

 1.提高产品成品率：硅片装夹牢固，减少掉片现象，减少氮化硅的色差片，提高了成品率。

2.工艺点钩点小，新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm²，新的三角形工艺点钩点面积是0.619mm²。

3.使用寿命长。

4.采用德国西格里高纯石墨，纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。