光诱导力显微镜基于原子力显微镜平台,通过外置激光以一定的频率激发在探针和样品上，探针和样品因此受到诱导偶极。AFM探针可以通过频率调制获得样品内部的电子能级变化，振动能级及转动能级变化。再将频率调制后得到的结果进行傅立叶变化，以获得相应的紫外可见吸收光谱或红外光谱。得益于探针的曲率半径，其光谱的空间分辨率最大可达10nm。PiFM也能和拉曼光谱进行联用，并具备散射式扫描近场光学显微镜功能。