用途：应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。还可用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀刻。
| 电子级氢氟酸 | ||||
| 级别 | UPS级 | UP级 | EL级 | |
| 项目 | 单位 | 指标 | 指标 | 指标 |
| 含量 Assay(HF) | % | 49±0.5 | 49±0.5 | 49±0.5 |
| 氟硅酸（H2SiF6) | ppm | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| 氯化物 (Cl) | ppm | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
| 硝酸盐 (NO3-) | ppm | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
| 磷酸盐 (PO43-) | ppm | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| ***盐和亚***盐 | ppm | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
| 锂 （Li） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 钠 （Na） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 镁 （Mg） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 铝 （Al） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 钾 （K） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 钙 （Ca） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 铬 （Cr） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 铁 （Fe） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 钴 （Co） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 镍 （Ni） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 铜 （Cu） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 锌 （Zn） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 镓 （Ga） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 钼 （Mo） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 银 （Ag） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 镉 （Cd） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 锡 （Sn） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 钡 （Ba） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 铂 （Pt） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
| 金 （Au） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 锰 （Mn） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
| 铅 （Pb） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
| 钛 （Ti） | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤10 |
