三氯氢硅
分子量： 135.43熔点(101.325kPa)：-134℃；沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)： 4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa
；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；爆极限：6.9～70%；性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：
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三氯氢硅
分子量： 135.43熔点(101.325kPa)：-134℃；沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)： 4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa
；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；爆极限：6.9～70%；性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：