技术参数 ◆ 设备外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃，约10升)Φ215 × 300(L) mm
◆ 电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)180(W) ×210(D) mm
◆ 等离子发生器(韩国KM）频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统
触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制PID闭环自动稳压控制
◆ 气路系统2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路
