◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯) 760(W)×850(D)×1750(H)mm ◆ 不锈钢或合金铝真空仓体尺寸(约60升) 450(W)×450(D)×510(H)mm ◆ 仓体结构 12层铝合金放电电极,阳极氧化处理 ◆ 等离子发生器(韩国KM) 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配，可连续长时间工作。 ◆ 控制系统
触摸屏+PLC全自动控制，可进行多步工艺流程处理，采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件, 有手动、自动两种控制模式，7”真彩触摸屏，进口可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
◆ 真空系统 日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN601 (17L/S) 真空专用电磁角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管）高精度真空计、规管 ◆ 充气系统 两路工艺气体配置，美国高精度电子质量流量计(MFC)、针阀， 美国世伟洛克不锈钢抛出现被限制词语体管路及接口组件，德国双级减压阀 
